報告書番号

W92014

タイトル（和文）

画像処理によるＣＶケーブルの半導電層界面ラメラ角の自動検出

タイトル（英文）

NEW METHOD FOR ESTIMATING LAMELLAR ANGLE AT SEMICONDUCTING INTERFACE USING IMAGE PROCESSING

概要 （図表や脚注は「報告書全文」に掲載しております）

電子顕微鏡写真からラメラ線を抽出する手法を開発した。さらにラメラ線の特徴データからラメラ角を計算し，従来の手法によるラメラ角と比較して開発された手法が有効であることを示した。ラメラ線検出アルゴリズムはＳｏｂｅｌ微分演算子を各ピクセルについて計算し，ラメラ線上の点であることを判定する。その後，ラメラ長「ピクセル長」や画像強度Ｓ〔（最大匂配方向強度／明るさ）の平均値〕を計算した。画像が明瞭なＴＥＭ写真では検出ラメラ線数のＳ依存性は小さい。一方，画像強度の小さいＴＥＭ写真では検出ラメラ数に変化が見られる。Ｓ値のしきい値は検出されるラメラ数があまり変化しない値としてＳ＝６０～８０程度が良い。半導電層界面からの平均距離が０．２ミューｍと小さい時には従来のディジタイザーによる平均ラメラ角と画像処理による平均ラメラ角がほぼ一致する場合と，画像処理による平均ラメラ角がディジタイザーによる平均ラメラ角より

概要 （英文）

IMAGE PROCESSING IS PROPOSED FOR DETECTING LAMELLAR LINES FROM A PHOTOGRAPH TAKEN WITH A TRANSMISSION ELECTRON MICROSCOPE(TEM). THE LAMELLAR ANGLE WAS CALCULATED. BASED ON THE DETECTED LAMELLAR LINES. THE METHOD IS EFFECTIVE FOR DETECTING LAMELLAR ANGLE FROM A TEM PHOTOGRAPH. LAMELLAR LINES WERE DETECTED WITH A SOBEL DIFFERENTIAL OPERATOR. THE DETECTED LAMELLAR ANGLES WERE LARGER THAN THOSE DETECTED BY HUMAN OPERATORS. THE LAMELLAR ANGLES DEPEND STRONGLY ON THE CLEARNESS OF THE TEM PHOTOGRAPHS. UNDER CERTAIN CONDITIONS,THE LAMELLAR ANGLE DETECTED BY IMAGE PROCESSING IS VERY CLOSE TO THE LAMELLAR ANGLE DETECTED BY HUMAN OPERATORS.

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