報告書番号

T93089

タイトル（和文）

Ｙ系超電導薄膜の最適作製条件の検討

タイトル（英文）

STUDY OF OPTIMUM PREPARATION CONDITIONS FOR Y-BASED SUPERCONDUCTING THIN FILMS

概要 （図表や脚注は「報告書全文」に掲載しております）

ゼロ抵抗温度が８６．５Ｋを示すＹ系超電導薄膜の作製条件を明らかにした。しかし，この薄膜の表面状態は約１μｍ径の粒が一面に生成しており，表面平滑性は良くなかった。そこで，表面平滑性を向上させるため，成膜スピードを約１／３に遅くした条件でＹ系超電導薄膜を作製し，膜厚，結晶配向性，表面状態，超電導特性等の特性を調べた。結晶配向性は極点図測定を行うことにより，表面状態はＳＥＭ観察により，超電導特性は４端子法とＳＱＵＩＤにより評価した。成膜スピードを遅くすることにより，表面平滑性は改良されたが，不純物が生成し，結晶配向性の乱れが大きくなった。また，ゼロ抵抗温度は約８０Ｋに低下した。これらの特性が変化した原因を考察した。

概要 （英文）

WE HAVE SUCCESSFULLY PREPARED Y-BASED HIGH-TEMPERATURE SUPERCONDUCTING FILMS WITH ZERO RESISTANCE TEMPERATURE AT 86.5K. MANY PARTICLES OF ABOUT 1- M DIAMETER WERE PRESENT ON THE FILM SURFACES AND THE SURFACE MORPHOLOGY WAS NOT SMOOTH. TO IMPROVE SURFACE MORPHOLOGY,WE PREPARED FILMS AT LOW GROWTH SPEED WITH A SPEED DECREASE OF 30%. THE FILM THICKNESS,CRYSTAL ORIENTATION,SURFACE MORPHOLOGIES AND SUPERCONDUCTING PROPERTIES OF THE FILMS WERE INVESTIGATED. CRYSTAL ORIENTATION AND SURFACE MORPHOLOGY WAS EXAMINED USING POLE-FIGURE X-RAY DIFFRACTION AND SCANNING ELECTRON MICROSCOPY,RESPECTIVELY. SUPERCONDUCTING PROPERTIES WERE MEASURED BY A CONVENTIONAL FOUR-PROBE METHOD AND A SQUID(SUPERCONDUCTING QUANTUM INTERFERENCE DEVICE) MAGNETOMETER. ALTHOUGH THE SURFACE MORPHOLOGIES AT LOW GROWTH SPEED WERE SLIGHTLY IMPROVED,SOMEIMPURITY PHASES GREW AND CRYSTAL DISORIENTATION INCREASED. IN ADDITION,ZERO RESISTANCE TEMPERATURES FELL TO ABOUT 80K. WE DISCUSS THE CAUSES OF THESE CHANGES.

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