報告書番号

T93020

タイトル（和文）

パルスパワー技術の現状と課題

タイトル（英文）

DEVELOPMENT AND USES OF PULSED-POWER TECHNOLOGY

概要 （図表や脚注は「報告書全文」に掲載しております）

近年の高電圧・大電流パルスパワー技術の進展はめざましいものがあり、その適用範囲は核融合などのエネルギー分野からＬＳＩなどの微細加工分野までと極めて広い。このため、パルスパワー応用技術の現状を調査し、現状の適用分野と将来の課題を抽出することは極めて重要である。調査項目としては、（１）パルスパワーの形態とエネルギー領域（２）パルスパワー技術を支える基礎技術（３）パルスパワー技術の適用の現状（４）パルスパワー技術の研究課題

概要 （英文）

THE DEVELOPMENT OF PULSED POWER TECHNOLOGY IS VERY IMPORTANT IN CREATING NEW ENERGY SYSTEMS, NEW SEMICONDUCTOR PROCESSING TECHNIQUES, NEW LASER TECHNIQUES, ETC. THIS PAPER REPORTS THE RESULTS OF INVESTIGATIONS ON PULSED POWER TECHNOLOGY FROM THE FOLLOWING VIEWPOINTS. (1)ENERGY DENSITY (2)FUNDAMENTAL TECHNOLOGIES (3)DEVELOPMENTAND USES (4)SUBJECTS FOR STUDY

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