報告書番号

T02017

タイトル（和文）

超電導線開発のための乾式高速超電導膜作製法

タイトル（英文）

Dry High-Speed Superconducting Film Fabrication Technique for Superconducting Wires

概要 （図表や脚注は「報告書全文」に掲載しております）

YBCO超電導線の製造のためにYBCO膜の高速製膜技術も開発を行った。この作製法は真空蒸着法で原料にＹ，BaF２，Cuを用いて室温で基材上にアモルファス膜を作製し、減圧酸素中で熱処理することによりYBCO膜を得る方法である。原料にBaF2を用いた場合、一般に、水蒸気を導入して反応を促進させるが、本作製法は水蒸気を用いずに酸素のみを用いることから乾式超電導膜作製法と呼ぶことにした。この乾式超電導膜作製法がYBCO超電導線の製造法として適用可能かどうかを調べるため、反応機構を含めた高速製膜化、超電導特性、および、大電流化のための厚膜化等の検討を行った。その結果、乾式超電導膜作製法は十分に高速製膜の可能な作製法であり、臨界電流値は従来法と同等であった。大電流化のための厚膜化は十分な結果は得られなかったが、臨界電流値は約100A/cmに達した。

概要 （英文）

A high-speed YBCO film fabrication technique was developed in order to produce YBCO superconducting wires. First, amorphous films are evaporated using Y, BaF2 and Cu as evaporation sources by vacuum deposition and subsequently the amorphous films are annealed in a low-oxygen pressure atmosphere to obtain crystallized YBCO films. In the case of using BaF2 as a starting material, water vapor is generally introduced in an annealing process. However, in the present technique, we intentionally did not introduce water vapor, so it is called dry superconducting fabrication. In order to evaluate whether the dry superconducting fabrication technique is suitable or not for YBCO superconducting wire production, we investigated the potentiality of high-speed YBCO growth including clarification of film growth, superconducting properties and the potential of thick YBCO films. We found that the technique is adequate for high-speed YBCO growth for YBCO superconducting wire production and the critical current is almost the same as that obtained by existing techniques. Although the film thickness dose not reach 1 um, the critical current per unit length is approximately 100 A/cm.

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